Корзина
Ваша корзина пуста.

ГлавнаяКаталогКак купитьДоставкаО магазинеКак это работаетНовостиКонтакты
Новости
Автотюнинг, Автозапчасти, Енергосбережение
Украина Днепропетровская обл.
Днепропетровск
+38(098) 220-64-80
+38(063) 215-04-07
пн-пт 09:00-18:00
Закрыть
Ваше имя
Контактный телефон
Удобное время звонка
Введите код с картинки


Влияние контактного термического сопротивления

В работе рассмотрено влияние различных факторов на распределение температуры в процессе ионно-плазменной обработки кремниевой пластины. На обрабатываемую пластину в большинстве случаев приходится тепловая нагрузка до 0,3-0,5 Вт/см2. Так как существенное влияние на температурный профиль оказывает контактное термическое сопротивление, необходимо обязательно его учитывать, чтобы обеспечить наилучший тепловой контакт пластина-подложкодержатель в условиях низкого давления. Поверхности пластины и подложко-держателя имеют шероховатости и волнистости, поэтому контакт между ними всегда имеет дискретный характер.

Контактная проводимость отличается большой сложностью, так как зависит от целого ряда различных по своему характеру факторов, и расчет термического сопротивления контакта представляет определенные трудности. Установлено, что площадь фактического контакта двух твердых тел составляет незначительную долю номинальной площади соприкосновения, определяемыми геометрическими размерами соприкасающихся тел. Поэтому для увеличения теплопроводности контакта в зазор между пластиной и подложко-держателем подается газ (гелий). Газовая прослойка заполняет микрополости между сопрягаемыми телами. Основываясь на ряде работ, посвященных проблеме контактного термического сопротивления и исследованиях распределения газа под пластиной, разработана методика расчета термической проводимости реального контакта кремниевой пластины и подложко-держателя, по которой выполнены компьютерные расчеты. Теоретические исследования, моделирующие расчеты и полученные по ним данные позволяют проводить оценку температуры по поверхности пластины.

Исследование и моделирование источника плазмы высокой плотности

В современном технологическом оборудовании производства микроструктур для процессов прецизионного травления все шире используются высокоэффективные источники плазмы высокой плотности на основе ВЧ-разряда, формирующие индуктивно-связанную плазму (ICP). В работе была представлена новая конструкция ICP-источника с водяным охлаждением мультиспиральной антенны и с заполнением диэлектриком пространства между ее электродами, что повысило надежность работы устройства за счет устранения перегрева и снижения вероятности электрических пробоев.

В статье приводятся результаты математического моделирования процесса плазмообразования в ICP-источнике. Разработанная компьютерная программа позволяет рассчитать плотность плазмы и исследовать ее распределение как в осевом, так и в радиальном направлении по зоне плазмообразования. Приводятся также результаты исследования экспериментального образца ICP-источника с новой конструкцией антенного узла. Исследования показали, что спроектированный источник при сравнительно небольших мощностях (менее 1 кВт) обеспечивает высокую плотность плазмы (не менее 10 см) в диапазоне рабочих давлений 0,5-1,0 Па и реализует высокоэффективное анизотропное травление материалов с высоким разрешением (менее 0,2 мкм). Предполагается в дальнейшем провести исследования по осаждению с помощью разработанного источника слоев материалов из парогазовых смесей с высокой эффективностью и качеством.

Контроль потока - важная функция, которой должны располагать различные системы, оперирующие физическими микро- и макропотоками. Исследования в области создания устройств для измерения малых расходов газа направлены на нахождение оптимума или некоторого компромисса между точностью и чувствительностью датчика с одной стороны и его надежностью и долговечностью - с другой, при обеспечении разумного уровня энергоемкости устройства. Байпас-технология и ее модификация - ламинарный байпас стандарт сенсорной технологии в разработке РРГ. Особенность этой технологии - изоляция сенсора от измеряемого потока. Производимые по ней приборы в России (Элточприбор) и за рубежом (Advanced Energy сотр Tokyo Keisoco LTD, LAir Ligvide, Pneucleus Technologies C, etc) широко используются благодаря своим высоким техническим характеристикам. Однако надежный сенсор, созданный по байпас-технологии, признается сейчас переусложненным и для большинства некоррозионных газов является высокозатратным. Разработанные сенсоры на кремниевом чипе, превосходят их по быстродействию и воспроизводимости.

Основное преимущество кремниевого сенсора -расположение его в месте контроля и малая термомасса. Традиционный РРГ обычно осуществляет регулирование 1000 -5000 мс, в то время как кремниевые сенсоры имеют этот показатель 40 -100 мс. Байпас-технология основывается на корректирующем факторе, определяемом геометрическими соотношениями между расходомерной трубкой и комплексом байпаса. Загрязнения накапливаются внутри капиллярной трубки и нарушают калибровку РРГ.

Для контроля и регулирования температуры в техпроцессах различных отраслей промышленности и научных исследований широко используются системы датчиков температуры (ДТ). Для таких систем часто необходим комплекс средств централизованного сбора, отображения и хранения температурной информации в требуемом виде. Представленный комплекс разрабатывался для автоматизированного контроля температурного режима в камерах тепловой обработки железобетонных изделий и состоит из программы технолога, промышленного компьютера (ПромК), печатающего устройства, преобразователей RS232-RS422, модулей сбора данных (МСД) и системы ДТ. ПромК с заложенными в него алгоритмами управления, измерения, доставки, хранения и отображения информации обеспечивает требуемую надежность и точность задачи контроля . На мониторе в удобном для оператора виде мнемосхемы отображается текущая температура всех камер цеха и при щелчке на любой из них открывается ее температуры с возможностью масштабирования.

Пьезокерамические фильтры поверхностного монтажа

В связи с переходом к разработке компонентов радиоэлектронной аппаратуры на соответствие стандартам технологии поверхностного монтажа В статье о пьезокерамических фильтрах поверхностного монтажа рассмотрен вопрос разработки пьезокерамических фильтров с габаритно-присоединительными размерами и функционально-эксплуатационными возможностями, соответствующими требованиям компонентов для технологии поверхностного монтажа. Новизна заключается в применении в фильтрах квадратных пьезоэлементов вместо дисковых, что влечет за собой некоторые сложности в технологии.

Однако именно применение квадратных пьезоэлементов позволяет изготовить фильтры для технологии поверхностного монтажа при сохранении их функциональных возможностей, так как они имеют больший коэффициент заполнения объема корпуса фильтра, за счет чего и можно уменьшить габаритные размеры фильтра.  Из этих исследований стало ясно, что даже небольшой дефект в геометрии пьезоэлемента может привести к нежелательным резонансам, приводящим к искажению АЧХ фильтра. Пьезокерамические фильтры собираются по лестничным схемам с резонаторами в каждом плече. В работе был проведен выбор количества звеньев и его обоснование, рассмотрен инженерный метод расчета фильтра. Проведенные исследования фильтров, которые показали правильность выбранного метода, позволяют утверждать, что полученный фильтр полностью удовлетворяет всем предъявленным к нему требованиям, и по своим электрическим характеристикам находится на уровне лучшего зарубежного аналога - фильтра CFX455D японской фирмы Murata.

С целью определения необходимого количества постов наблюдений за загрязнением атмосферного воздуха (ПНЗ) и их рационального размещения был использован программный комплекс Zona, позволяющий оценить фактическую картину загрязнения атмосферы г. Зеленограда с использованием баз данных климата и источников загрязнения в широком диапазоне метеоусловий; рассчитывать распространение загрязняющих веществ от источников любого режима работы (включая автотранспорт), учитывающего реальную застройку местности. Расчет проведен для типичных погодных условий зимы (январь) и лета (июль) для наиболее вероятной (мс) и близкой к опасной (мс) скорости ветра.

Результаты расчетов для каждой области сосреднены, для различных погодных условий выбрано максимальное значение, и, в зависимости от величины концентрации, квалифицировано от слабого до максимального. Комплексная оценка экологической эффективности вариантов расположения постов контроля атмосферного воздуха позволила определить их оптимальное расположение на территории города на территории 1 микрорайона, на территории 8 микрорайона, на территории 6 микрорайона, либо 7 микрорайона, на территории 15 микрорайона, на территории 19 микрорайона.

Статьи партнеров